---

چکیده: در این مقاله مطالعه­ی تحلیلی اثرات غیرخطی تلفات فشردگی لایه­ی نازک در نوسانگرهای میکروالکترومکانیکی حلقوی با تکیه گاه مرکزی در فرکانس­های رادیویی ارائه می­شود. در این راستا، تغییرات ضریب میرایی و ثابت فنر ناشی از این پدیده مطالعه شده و نحوه اثرگذاری آن بر روی ضریب کیفیت نوسانگر مورد بحث قرار خواهد گرفت. معادلات تحلیلی نشان می­دهد که با توجه به سختی بسیار بالای ساختار نوسانگر جابجایی فرکانسی و میرایی ناشی از این اثر، مقدار کوچکی است. بر اساس معادلات استخراج شده در این مقاله، برای نوسانگر طراحی شده نیازی به بسته یندی خلاء گران قیمت به منظور افزایش ضریب کیفیت وجود ندارد. استخراج این معادلات و ارائه روش تحلیل، یک نقطه عطف در بررسی نوسانگرها از نقطه نظر بسته بندی، فرآیند ساخت و هزینه تمام شده می باشد.

---

در این مقاله، یک سنسور بیولوژیکی حساس به جرم با قابلیت ساخت به کمک تکنولوژی میکروالکترومکانیکی با کاربرد در محیط مایع و با قابلیت به­کارگیری در قطعات "آزمایشگاه روی یک تراشه"، برای کاربردهای پزشکی ارائه شده است. سنسور بیولوژیکی پیشنهادی از تزویج الکترومکانیکی المان‌های نوسانگر مکانیکی هارمونیک به کمک فنرهای هارمونیک مناسب، به‌عنوان یک آرایه نوسانگر مکانیکی طراحی شده است. انتشار موج مکانیکی در راستای این آرایه به کمک روش الکترواستاتیکی با استفاده از یک مولد و یک سنسور بر پایه خازن­های انگشتی انجام می‌گیرد. ویژگی­های مهم این طرح هزینه ساخت کم، اتلاف کم در تداخل با محیط مایع، حساسیت بالا و سطح موثر جذب بزرگِ سنسور بیولوژیکی پیشنهادی است. ارزیابی ویژگی‌ها و عملکرد سنسور بیولوژیکی پیشنهادی از جمله حساسیت سنسور به کوچکترین میزان جرم جذب شده و امکان اندازه­گیری تغییرات خازنی در خروجی آن، و اثرات میرایی موج انتشاری در تداخل با محیط مایع به کمک نرم افزار ‌Comsol مدل‌سازی شده است، که بررسی نتایج، گویای حساسیت جرمی بالا توام با امکان سنجش خروجی این سنسور بیولوژیکی با ادوات الکترونیکی موجود شده است.