AU - Baghelani, Masoud TI - Study of the Nonlinear Effects of Squeeze Film Damping RF MEMS Ring Resonators PT - JOURNAL ARTICLE TA - jnsee JN - jnsee VO - 5 VI - 1 IP - 1 4099 - http://journals.sut.ac.ir/jnsee/article-1-162-fa.html 4100 - http://journals.sut.ac.ir/jnsee/article-1-162-fa.pdf SO - jnsee 1 AB  - چکیده: در این مقاله مطالعه­ی تحلیلی اثرات غیرخطی تلفات فشردگی لایه­ی نازک در نوسانگرهای میکروالکترومکانیکی حلقوی با تکیه گاه مرکزی در فرکانس­های رادیویی ارائه می­شود. در این راستا، تغییرات ضریب میرایی و ثابت فنر ناشی از این پدیده مطالعه شده و نحوه اثرگذاری آن بر روی ضریب کیفیت نوسانگر مورد بحث قرار خواهد گرفت. معادلات تحلیلی نشان می­دهد که با توجه به سختی بسیار بالای ساختار نوسانگر جابجایی فرکانسی و میرایی ناشی از این اثر، مقدار کوچکی است. بر اساس معادلات استخراج شده در این مقاله، برای نوسانگر طراحی شده نیازی به بسته یندی خلاء گران قیمت به منظور افزایش ضریب کیفیت وجود ندارد. استخراج این معادلات و ارائه روش تحلیل، یک نقطه عطف در بررسی نوسانگرها از نقطه نظر بسته بندی، فرآیند ساخت و هزینه تمام شده می باشد. CP - IRAN IN - Engineering School, Ilam University, Pazhouhesh Blvd., Ilam, Iran LG - eng PB - jnsee PG - 104 PT - Research YR - 2019