TY - JOUR T1 - Study of the Nonlinear Effects of Squeeze Film Damping RF MEMS Ring Resonators TT - بررسی و محاسبه اثرات غیرخطی فشردگی لایه نازک در نوسانگرهای میکروالکترومکانیکی (MEMS) حلقوی در فرکانس‌های رادیویی JF - jnsee JO - jnsee VL - 5 IS - 1 UR - http://journals.sut.ac.ir/jnsee/article-1-162-fa.html Y1 - 2019 SP - 104 EP - 114 KW - RF MEMS KW - RSACMDR KW - resonator KW - squeeze film KW - packaging KW - Nonlinear vibration equation N2 - چکیده: در این مقاله مطالعه­ی تحلیلی اثرات غیرخطی تلفات فشردگی لایه­ی نازک در نوسانگرهای میکروالکترومکانیکی حلقوی با تکیه گاه مرکزی در فرکانس­های رادیویی ارائه می­شود. در این راستا، تغییرات ضریب میرایی و ثابت فنر ناشی از این پدیده مطالعه شده و نحوه اثرگذاری آن بر روی ضریب کیفیت نوسانگر مورد بحث قرار خواهد گرفت. معادلات تحلیلی نشان می­دهد که با توجه به سختی بسیار بالای ساختار نوسانگر جابجایی فرکانسی و میرایی ناشی از این اثر، مقدار کوچکی است. بر اساس معادلات استخراج شده در این مقاله، برای نوسانگر طراحی شده نیازی به بسته یندی خلاء گران قیمت به منظور افزایش ضریب کیفیت وجود ندارد. استخراج این معادلات و ارائه روش تحلیل، یک نقطه عطف در بررسی نوسانگرها از نقطه نظر بسته بندی، فرآیند ساخت و هزینه تمام شده می باشد. M3 ER -