|
بررسی و محاسبه اثرات غیرخطی فشردگی لایه نازک در نوسانگرهای میکروالکترومکانیکی (MEMS) حلقوی در فرکانسهای رادیویی
|
مسعود باقلانی*   |
| دانشگاه ایلام ، m.baghelani@ilam.ac.ir |
|
|
چکیده: (13870 مشاهده) |
چکیده: در این مقاله مطالعهی تحلیلی اثرات غیرخطی تلفات فشردگی لایهی نازک در نوسانگرهای میکروالکترومکانیکی حلقوی با تکیه گاه مرکزی در فرکانسهای رادیویی ارائه میشود. در این راستا، تغییرات ضریب میرایی و ثابت فنر ناشی از این پدیده مطالعه شده و نحوه اثرگذاری آن بر روی ضریب کیفیت نوسانگر مورد بحث قرار خواهد گرفت. معادلات تحلیلی نشان میدهد که با توجه به سختی بسیار بالای ساختار نوسانگر جابجایی فرکانسی و میرایی ناشی از این اثر، مقدار کوچکی است. بر اساس معادلات استخراج شده در این مقاله، برای نوسانگر طراحی شده نیازی به بسته یندی خلاء گران قیمت به منظور افزایش ضریب کیفیت وجود ندارد. استخراج این معادلات و ارائه روش تحلیل، یک نقطه عطف در بررسی نوسانگرها از نقطه نظر بسته بندی، فرآیند ساخت و هزینه تمام شده می باشد. |
|
| واژه‌های کلیدی: نوسانگرهای میکروالکترومکانیکی فرکانس رادیویی، نوسانگر دیسک حالت محیطی با تکیه گاه حلقوی، نوسانگر، فشردگی لایه نازک، بسته بندی، معادلات غیرخطی ارتعاش |
|
|
متن کامل [PDF 958 kb]
(1337 دریافت)
|
نوع مطالعه: پژوهشي |
موضوع مقاله:
سیستمهای میکرو الکترومکانیکی
دریافت: 1396/8/12 | پذیرش: 1397/4/26 | انتشار: 1397/11/8
|
|
|
|
|
|
|
| ارسال پیام به نویسنده مسئول |
|
|
|
| ارسال نظر درباره این مقاله |
|
|
|
